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选择真空泵的注意事项!
发布时间:2019-03-26 17:43:56

1.真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

2、了解被抽体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知旋片真空泵道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进口管路上安装辅助设备,如冷凝器、 除尘器等。

3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量,

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氮,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氢有一 定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的直空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压 ,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求,若设备严格要求无油时,应该选择各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施。

6、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选择无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。

7、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

 

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